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  • 平面氣浮直線電機檢測平臺
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平面氣浮直線電機檢測平臺

市 場 價: 0元/個

優(yōu) 惠 價: 0元/個

采用XY軸共面設計的GCD2T-QXY系列氣浮平臺擁有比一般XY平臺更加優(yōu)秀的平面度及形位公差,無鐵芯直線電機保證了運動軸的運動精度、高動態(tài)響應以及運動效果均勻性,花崗巖底座更是為最佳的平面度提供了保證,是晶圓檢測以及高精度面型微加工的首選。
平面氣浮直線電機檢測平臺

平面氣浮直線電機檢測平臺

主要性能參數(shù):

型號 GCD2T-Q100 GCD2T-Q150 GCD2T-Q200 GCD2T-Q250 GCD2T-Q300 GCD2T-Q400 GCD2T-Q500
行程X軸Y軸(mm) 100 150 200 250 300 400 500
導軌類型 平面共軌氣浮導軌
X電機規(guī)格 三相無鐵芯電機持續(xù)60N峰值210N
Y軸 60N/210N 60N/210N 60N/210N 120N/420N(雙驅(qū)) 120N/420N(雙驅(qū)) 120N/420N(雙驅(qū)) 120N/420N(雙驅(qū))
光柵分辨率 默認模擬量5nm(4096細分)最高1nm,可升級為數(shù)字量
X軸(上軸)空載最大加速度 4G
Y軸(下軸)空載最大加速度 2G 1.7G 1.5G 2G 2G 1.6G 1.4G
空載最大速度 2m/s
速度均勻性 ≤1%
最大負載(kg) 15kg
雙向重復定位精度 ±0.1um
XY軸定位精度(補償前) ±1 ±1.5 ±2 ±2 ±2.5 ±3 ±4
XY軸定位精度(補償后) ±0.5
直線度 0.5 0.5 1 1 1.5 2 2.5
平面度 0.5 0.8 1 1 1.5 2 2.5
氣源工作壓力 0.3-0.48MPa

平臺最大速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動器的時鐘頻率,不同配置會導致此項參數(shù)上限值的變化,所有直線電機產(chǎn)品默認采用直線開放式光柵 詳詢廠家。

速度均勻性又稱速度誤差,與速度所處區(qū)間關系較大,速度越慢速度誤差比例越大,低于1mm/s的應用,推薦采用線性驅(qū)動器。

此數(shù)據(jù)為實驗室實測數(shù)據(jù)上限,如有更高要求,需搭配GC-K系列控制器,詳詢廠家,此數(shù)據(jù)為標定后參數(shù)。

外形尺寸圖:

GCD2T-QXY尺寸圖:

尺寸\型號 100x100 150x150 200x200 250x250 300x300 400x400 500x500
W 310 360 410 460 510 610 710
L 380 430 480 530 580 680 780

實際尺寸會根據(jù)客戶所需的行程來確定。

如需要進一步的尺寸信息或3D圖檔,請直接聯(lián)系廠家。

特別注意事項:

1、直線電機平臺屬于高精度精密設備,因此如果希望得到最好的性能,需要保證足夠的使用環(huán)境,尤其在使用要求重復定位精度小于1um的設備上,所有指標的復現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等,詳細要求可進一步聯(lián)系廠家咨詢溝通。

2、所有平臺可單獨訂購,如對設備的精度以及性能要求較高,推薦使用光馳科技自主生產(chǎn)的控制器搭配控制器出貨的產(chǎn)品,在出廠檢驗中都會做針對性的優(yōu)化和校準,是您高要求使用的首選。

3、氣浮平臺需搭配空壓機、儲氣罐、冷干機油水分離器、過濾器、干燥器、調(diào)壓閥等輔助配件,詳細規(guī)格請咨詢廠家。